東莞市曙光精密機械有限公司
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首先我們來了解一下晶棒是什么?
晶棒是做芯片的原料,有4吋(直徑10厘米) 8吋(直徑20厘米) 12吋(直徑30厘米)三種。12吋晶棒就是一根30厘米的圓柱體,這個圓柱體里面是純凈的硅。半導體集成電路主要的原料是硅。而這一切看起來高科技且高含量的半導體基礎的材料則來源于沙子的提煉。如何從沙石中提煉出純硅?
將沙石原料放入高溫2000℃且有碳源存在的熔爐中,此時高溫下的沙石會釋放二氧化硅,與碳進行化學反應,剩下硅,得到純度為98%的純硅,這對微電子器來說不夠純,因為半導體材料的電學特性對雜質的濃度非常敏感。因此需要對提煉出來的硅進一步提純;將粉碎的冶金級硅與氣態(tài)的氯化氫進行氯化反應,生成液態(tài)的硅烷,然后通過蒸餾和化學還原工藝,得到了高純度的多晶硅,其純度高達99.999999999%,成為電子級硅。接下來是單晶硅生長,常用的方法叫直拉法。高純度的多晶硅放在石英坩堝中,并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,溫度維持在大約1400 ℃,爐中的空氣通常是惰性氣體,使多晶硅熔化,同時又不會產(chǎn)生不需要的化學反應。為了形成單晶硅,還需要控制晶體的方向:坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉,把一顆籽晶浸入其中,并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉,同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的,在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內部晶格方向相同的單晶硅棒。用直拉法生長后,單晶棒將按適當?shù)某叽邕M行切割,然后進行研磨,將凹凸的切痕磨掉,晶棒研磨對光潔度有一定的要求,這對機床也有一定的要求,那么什么機床會合適呢?
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